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主營產(chǎn)品
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主營產(chǎn)品
主營產(chǎn)品
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詳細(xì)內(nèi)容
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設(shè)備參數(shù)：
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指標(biāo) |
參數(shù) |
指標(biāo) |
參數(shù) |
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晶體直徑 |
φ8"/φ14" |
熔料量 |
380Kg |
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主爐室尺寸 |
φ900×1250mm |
翻板閥通徑 |
φ420mm |
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拉伸腔尺寸 |
φ450×2270mm |
電源 |
3相380V±10%,50HZ |
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變壓器容量 |
230KVA |
冷爐極限真空度 |
3Pa |
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加熱器上限加熱功率 |
150KVA |
加熱器上限加熱電壓 |
60V |
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主機上限高度 |
7200mm |
籽晶拉速范圍 |
0～12.5mm/min |
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籽晶快速范圍 |
≥400mm/min |
籽晶轉(zhuǎn)速范圍 |
0～50R/min |
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坩堝升速范圍 |
0～2mm/min |
坩堝快速范圍 |
≥100mm/min |
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坩堝轉(zhuǎn)速范圍 |
0～20R/min |
籽晶提升有效行程 |
2250mm |
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坩堝升降有效行程 |
400mm |
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主機占地面積 |
2700mmX1500mm |
整機占地面積 |
5500mmX3000mm |
- 上一個：12英寸芯片級單晶硅片
- 下一個：晶體生長智能控制系統(tǒng)